氣體控制系統(tǒng)--氣源柜

氣體控制系統(tǒng)：氣源柜

    氣源柜分為五層。頂部設置有排毒口， 用以排除在換源 過程中泄漏的有害氣體。 柜頂設置有三路工藝氣體及一路壓縮空氣的進氣接口， 接口以下安裝有減壓閥、截止閥， 用以對進氣壓力進行控制及調(diào)節(jié)。對應于氣路，各層分別裝有相應的電磁閥、 氣動閥、過濾器、單向閥、質(zhì)量流量控制器、 及DCE源瓶和冷阱等。柜子的底部裝有質(zhì)量流量（MFC）控制器電源、控制開關、保險等電路轉(zhuǎn)接板以及設備總電源進線轉(zhuǎn)接板。

    大連八方流體技術有限公司以全面、細致、周到的技術服務為企業(yè)核心，專業(yè)從事為普、特氣體的供氣系統(tǒng)及控制設備提供研制開發(fā)、制造安裝等技術服務。

    氣源柜作為等離子刻蝕、化學氣相沉積、金屬濺射、實驗室檢測設備等的工藝氣供氣氣源裝置，適合于輸送高純、有毒、易燃易爆、具有一般腐蝕性的介質(zhì)。根據(jù)不同使用要求可配置為手動、自動控制方式，及高沸點介質(zhì)加溫裝置。 貯氣罐 適用于貯存具有高純、有毒、易燃易爆、一般腐蝕性的半導體工藝氣、混合氣、標樣氣等。

產(chǎn)品詳細描述：

產(chǎn)品標題： 氣源柜 貯氣罐

產(chǎn)品價格： 面議

所屬分類： 高純特氣供氣系統(tǒng)

所屬行業(yè)： 氣相色譜儀

關 鍵 詞： 易燃易爆氣體,混合氣標準氣標樣氣取樣瓶,易燃易爆氣體