在線配氣裝置的技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)

1、混氣裝置：采用異形氣體混合倉(cāng)與氣體擾流板技術(shù)

2、控制系統(tǒng)：全自動(dòng)控制，并可對(duì)配氣方案進(jìn)行程序控制，實(shí)現(xiàn)流量、使用氣體、使用時(shí)間的隨意編程

3、氣路系統(tǒng)：使用316L不銹鋼管路及卡套式連接方式，使系統(tǒng)耐腐蝕、氣密性好

4、氣路控制系統(tǒng)：使用日本SMC電磁閥，并為每個(gè)氣路設(shè)置單向閥，已防止氣體逆行，所有電磁閥均由軟件控制

5、配氣方案：可根據(jù)求，實(shí)現(xiàn)對(duì)每組氣體的流量進(jìn)行編程調(diào)整，即流量的多段控制

6、應(yīng)用氣體：氨氣、氮?dú)?、丙烷、乙炔、丙炔、二氧化硫、二氧化碳、二氧化氮、甲烷、氪氣、氯化氫、氧氣、氫氣、一氧化氮、一氧化碳?/span>

7、流量控制：0-200毫升/分鐘、100-500毫升/分鐘、500—1000毫升 /分鐘可選

8、工作壓差：(0.1 ~ 0.5)  MPa

9、工作耐壓：3  MPa

10、重復(fù)精度：±0.2  %

11、工作精度：±1  %

12、工作溫度：5 ℃ ~ 45 ℃

大連八方流體技術(shù)有限公司以全面、細(xì)致、周到的技術(shù)服務(wù)為企業(yè)核心，專(zhuān)業(yè)從事為普、特氣體的供氣系統(tǒng)及控制設(shè)備提供研制開(kāi)發(fā)、制造安裝等技術(shù)服務(wù)。并為國(guó)內(nèi)外知名品牌的產(chǎn)品提供代理及相關(guān)的技術(shù)服務(wù)。其業(yè)務(wù)范圍涵蓋半導(dǎo)體、航天、制藥、工業(yè)制造、化工、科研試驗(yàn)及檢測(cè)機(jī)構(gòu)等廣泛領(lǐng)域。所研發(fā)生產(chǎn)、代理選擇的產(chǎn)品和提供的相關(guān)技術(shù)服務(wù)包括：半導(dǎo)體、微系統(tǒng)制造研究、科研機(jī)構(gòu)和試驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)、工業(yè)制造業(yè)用自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)控制的各種供氣系統(tǒng)、匯流排、吹掃切換裝置、氣源柜、還原中和裝置、流量控制裝置及管理控制設(shè)備等；專(zhuān)業(yè)氣體公司用高精度（ppm級(jí)）特氣配氣裝置及相關(guān)流量調(diào)節(jié)裝置、真空成套設(shè)備、自動(dòng)計(jì)量測(cè)控系統(tǒng)等。