氣源柜廠家哪里好？選大連八方流通

氣源柜的基本結(jié)構(gòu)：擴散爐由控制系統(tǒng)、進出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成。

控制部分包括：溫控器、功率部件、超溫保護部件、系統(tǒng)控制。

系統(tǒng)控制部分有

四個獨立的計算機控制單元，分別控制每層爐管的推舟、爐溫及氣路部分，是擴散/氧化系統(tǒng)的控制中心。

輔助控制系統(tǒng)，包括推舟控制裝置、保護電路、電路轉(zhuǎn)接控制、三相電源指示燈、照明、凈化及抽風(fēng)開關(guān)等。

較先進的擴散爐控制系統(tǒng)均已更新或升級到微機控制，管機與主機間通過串口RS232或網(wǎng)線進行通信?？刂葡到y(tǒng)軟件大多基于Windows系統(tǒng)，實用性和可操作性大大提高，能夠?qū)崿F(xiàn)日志記錄，曲線記錄，程序編輯，遠程控制等多種功能。

水平擴散爐進出舟系統(tǒng)有兩種方式：1）懸臂槳系統(tǒng)；2）軟著陸系統(tǒng)。

懸臂槳系統(tǒng)結(jié)構(gòu)比較簡單，SiC槳攜帶舟和硅片進入石英爐管后，就停留在石英爐管內(nèi)，直到工藝程序結(jié)束，SiC槳就攜帶舟和硅片慢慢回到原位，懸臂槳系統(tǒng)缺點是槳對爐管溫度的均勻性有一定的影響，另外，工藝氣體也會對槳沉積，影響顆粒。

軟著陸系統(tǒng)較懸臂槳系統(tǒng)更加先進，SiC槳進入石英工藝爐管后，槳自動下沉放下石英舟和硅片，然后慢慢運行回原點，最后石英爐管的門自動關(guān)閉。軟著陸系統(tǒng)優(yōu)點是沒有SiC槳對腔體的影響，使得溫度均勻性更好，減少了工藝氣體在SiC槳上的沉積，從而顆粒更少。

推舟凈化柜的頂部裝有照明燈；正面是水平層流的高效過濾器及四層推舟的絲杠、導(dǎo)軌副傳動系統(tǒng)及SiC懸臂槳座，絲杠的右端安裝有驅(qū)動步進電機，導(dǎo)軌的兩端是限位開關(guān)。柜子的下部裝有控制電路轉(zhuǎn)接板及凈化用風(fēng)機。

爐體加熱系統(tǒng)

爐體加熱系統(tǒng)共有六層。頂層配置有水冷散熱器及排熱風(fēng)扇，每層加熱爐體間也配置一層水冷系統(tǒng)，隔絕每層爐管的溫度相互影響，廢氣室頂部設(shè)有抽風(fēng)口，與外接負(fù)壓抽風(fēng)管道連接后， 可將工藝過程殘 余的廢氣帶走,中間部分分四層放置四個加熱爐體， 每層由四個坡面支架托起并固定住加熱爐體，其位置在安裝時已經(jīng)與推拉舟系統(tǒng)——絲杠、導(dǎo)軌副傳動系統(tǒng)及SiC懸臂槳系統(tǒng)或軟著落系統(tǒng)等對準(zhǔn)中心。

氣體控制系統(tǒng)

氣源柜分為五層。頂部設(shè)置有排毒口， 用以排除在換源 過程中泄漏的有害氣體。 柜頂設(shè)置有三路工藝氣體及一路壓縮空氣的進氣接口， 接口以下安裝有減壓閥、截止閥， 用以對進氣壓力進行控制及調(diào)節(jié)。對應(yīng)于氣路，各層分別裝有相應(yīng)的電磁閥、 氣動閥、過濾器、單向閥、質(zhì)量流量控制器、 及DCE源瓶和冷阱等。柜子的底部裝有質(zhì)量流量（MFC）控制器電源、控制開關(guān)、保險等電路轉(zhuǎn)接板以及設(shè)備總電源進線轉(zhuǎn)接板。

擴散爐用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。

擴散工藝的主要用途是在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進行摻雜，即將元素磷、硼擴散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。

最新的低壓磷擴散利用低壓氛圍可以得到更好的方塊電阻均勻性和更大的生產(chǎn)批量，同時對環(huán)境的影響最小。

氧化工藝是使硅片表面在高溫下與氧化劑發(fā)生反應(yīng)，生長一層二氧化硅膜。

氧化方法有干氧和濕氧，濕氧包括水汽氧化和氫氧合成兩種。

大連八方流體主要生產(chǎn)氣源柜、配氣裝置、供氣系統(tǒng)管路安裝，公司官網(wǎng)：http://m.43vi.cn.cn