電子氣用于半導(dǎo)體工業(yè)的特種氣體，應(yīng)用平安的條件下，便利客戶操作

    電子氣用于半導(dǎo)體工業(yè)的特種氣體，應(yīng)用平安的條件下，便利客戶操作

    用于半導(dǎo)體工業(yè)的特種氣體，又稱電子氣，在半導(dǎo)體器件臨盆進(jìn)程中由氣源柜掌握與保送。近幾年來，跟著我國(guó)超年夜范圍集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等家當(dāng)?shù)拿艚莩砷L(zhǎng)，電子氣市場(chǎng)需求顯著增加，關(guān)于氣源柜的需求愈來愈年夜。若何在包管氣源的應(yīng)用平安的條件下，進(jìn)步臨盆效力，便利客戶操作，是特種氣體氣源柜設(shè)計(jì)的癥結(jié)。

    論文依據(jù)特種氣體的性質(zhì)，應(yīng)用情況，停止氣源柜的研發(fā)，重點(diǎn)研討了半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體氣源柜的整體計(jì)劃設(shè)計(jì)，包含全體產(chǎn)物的設(shè)計(jì)構(gòu)想，整體結(jié)構(gòu)，氣體防泄露設(shè)計(jì)，惰性氣體掩護(hù)設(shè)計(jì)，肯定了零件的構(gòu)造組成；增長(zhǎng)了高壓持續(xù)吹掃體系，選用主動(dòng)焊接工藝停止管線銜接，增強(qiáng)密封掩護(hù)辦法，在平安性和外不雅性方面同時(shí)改良，使其順應(yīng)市場(chǎng)的需求；應(yīng)用氣體流量盤算，負(fù)氣源輸入氣體更精準(zhǔn)；針對(duì)氣體特別性質(zhì)，停止真空測(cè)試和壓力測(cè)試和靠得住性實(shí)驗(yàn)與剖析，處理了該產(chǎn)物難點(diǎn)，并終究到達(dá)設(shè)計(jì)請(qǐng)求，成為國(guó)際半導(dǎo)體行業(yè)中的搶先產(chǎn)物

質(zhì)量和數(shù)量

    要求具有相當(dāng)高的可靠系數(shù)。通常情況下，測(cè)試處理機(jī)日以繼夜地連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。由于元件數(shù)量巨大，這樣一臺(tái)測(cè)試處理機(jī)每小時(shí)要為檢測(cè)系統(tǒng)供給28000個(gè)元件，因此任何停工成本都是巨大的。鑒于此，我們?nèi)匀恍枰獙?duì)這類設(shè)備進(jìn)行持續(xù)改進(jìn)，除可靠性外，易于維修也是一個(gè)非常重要的因素。

    裝配操作的成本壓力也是Multitest面臨的又一大挑戰(zhàn)。把許多氣源處理元件連接起來以使氣源處理系統(tǒng)運(yùn)作起來是一項(xiàng)很費(fèi)時(shí)的工作。為了改善這種情況，Multitest與Festo的系統(tǒng)工程小組密切合作，尋求提高M(jìn)T 9928項(xiàng)目裝配效率的最佳方案。

整理氣動(dòng)元件

    由于氣源處理應(yīng)用場(chǎng)合的模塊化結(jié)構(gòu)以及多樣化（如也可用于潔凈室），以往總是在氣源下游直接把氣源處理單元、整套減壓閥、過濾器和閥安裝在設(shè)備上面。為了便于維修，通過安裝在設(shè)備多個(gè)不同位置處的壓力表可以讀取壓力值。因此，必須安裝大量氣管，這增加了安裝成本且需要更大的安裝空間。

    在本套解決方案中，將氣源處理和進(jìn)給系統(tǒng)中的所有重要元件集中在一個(gè)主要的模塊中，可以通過控制計(jì)算機(jī)進(jìn)行監(jiān)測(cè)并且可以進(jìn)行集中切換操作。Festo提供的這一模塊是完全預(yù)裝配好的，所有線路和氣管都已安裝好，即插即用，減少了工作量。各個(gè)模塊需要多種不同的壓力，這通過系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)接口均可實(shí)現(xiàn)。

    Festo采用集成技術(shù)，為客戶訂制了一種類似于氣路板性質(zhì)的元件：在兩塊鋁板之間是一塊塑料板，塑料板上包含所有的進(jìn)氣管線，各進(jìn)氣管線連接至相應(yīng)的氣動(dòng)元件。該方案與印刷電路板上的電子模塊排列相似，所不同的是緊密排列的是氣路管線，而非半導(dǎo)體元件。

    在Festo的這一方案中，無須獨(dú)立的整套氣管系統(tǒng)，因此大大減少了公司的裝配工作量。由于元件比較密集，功能可靠性高，在這種密集型配置中可避免彎曲復(fù)雜的管路系統(tǒng)。

    MT 9928型測(cè)試處理機(jī)中的接觸式控制盒即為這樣一種配置。需要在有限的空間內(nèi)安裝多個(gè)閥和氣缸。受空間所限，傳統(tǒng)的氣管配置方式已不再適用，必須采用扁平結(jié)構(gòu)。

    另一個(gè)獨(dú)特之處便是其開關(guān)模塊，根據(jù)一個(gè)模塊用于多個(gè)派生型的原理，可通過一個(gè)氣路板實(shí)現(xiàn)兩種不同的排列形式（"線路圖"）。Festo提供的這一氣路板同樣是預(yù)先裝配好且經(jīng)過測(cè)試的。每個(gè)設(shè)備上一共安裝了四個(gè)模塊，為Multitest降低裝配和質(zhì)量控制成本提供了巨大的潛力。對(duì)于100單元左右的小型生產(chǎn)線而言，這一模塊也是一個(gè)性價(jià)比非常高的方案。可以避免由于需要在如此有限的空間內(nèi)安裝氣管系統(tǒng)而引發(fā)的一系列問題。