半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于特種氣體氣源柜的分析

    用于半導(dǎo)體工業(yè)的特種氣體，又稱(chēng)電子氣，在半導(dǎo)體器件臨盆進(jìn)程中由氣源柜掌握與保送。近幾年來(lái)，跟著我國(guó)超范圍集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等家當(dāng)?shù)拿艚莩砷L(zhǎng)，電子氣市場(chǎng)需求顯著增加，關(guān)于氣源柜的需求愈來(lái)愈年夜。若何在包管氣源的應(yīng)用平安的條件下，進(jìn)步臨盆效力，便利客戶(hù)操作，是特種氣體氣源柜設(shè)計(jì)的癥結(jié)。

    依據(jù)特種氣體的性質(zhì)，應(yīng)用情況，停止氣源柜的研發(fā)，重點(diǎn)研討半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體氣源柜的整體計(jì)劃設(shè)計(jì)，包含全體產(chǎn)物的設(shè)計(jì)構(gòu)想，整體結(jié)構(gòu)，氣體防泄露設(shè)計(jì)，惰性氣體掩護(hù)設(shè)計(jì)，肯定了零件的構(gòu)造組成；增長(zhǎng)了高壓持續(xù)吹掃體系，選用主動(dòng)焊接工藝停止管線(xiàn)銜接，增強(qiáng)密封掩護(hù)辦法，在平安性和外不雅性方面同時(shí)改良，使其順應(yīng)市場(chǎng)的需求；應(yīng)用氣體流量盤(pán)算，負(fù)氣源輸入氣體更精準(zhǔn)；針對(duì)氣體特別性質(zhì)，停止真空測(cè)試和壓力測(cè)試和靠得住性實(shí)驗(yàn)與剖析，處理了該產(chǎn)物難點(diǎn)，并終究到達(dá)設(shè)計(jì)請(qǐng)求，成為國(guó)際半導(dǎo)體行業(yè)中的搶先產(chǎn)物。